세메스가 반도체 노광 공정용 트랙 장비인 불화크립톤(KrF) 스피너를 신규 개발해 고객사의 품질 테스트를 통과했다고 7일 밝혔다.
스피너는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼에 미세 회로를 형성하기 위해 감광액(포토 레지스트)을 골고루 도포하고, 노광기에서 빛을 쬔 뒤 다시 현상하는 설비다.
이 장비는 현재 일본의 유력 장비 회사가 시장점유율 90% 이상을 차지하면서 사실상 독점하고 있다. 국내 공급 업체로는 세메스가 유일하다.
반도체에 회로를 새기는 빛은 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF), 극자외선(EUV)으로 나뉜다. 세메스는 그동안 KrF 스피너를 비롯해 불화아르곤 이머전(ArF-i) 스피너를 생산해 왔다. 이번에 개발된 차세대 KrF 설비는 워드라인 공정에 대응할 수 있을 뿐만 아니라 시간당 웨이퍼 처리능력도 20% 이상 개선한 것이 특징이다.
장세연 세메스 포토팀장은 “오메가 프라임의 개발로 향후 수입 대체 효과가 클 것으로 기대한다”며 “고부가가치 중심의 설비를 선보여 기술 리더십을 주도할 것”이라고 밝혔다.
국내 반도체 장비업계 최초로 연 매출액 3조 원을 돌파한 세메스는 스피너 장비를 개발해 IR52 장영실상을 3회 수상한 바 있으며 국내외 1000여 건의 노광 장비 관련 특허를 보유하고 있다.
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