반도체 장비업체로 삼성전자(005930)의 자회사인 세메스는 반도체 매엽식 세정장비 양산 판매 대수가 국내 최초로 2500대를 넘었다고 1일 밝혔다.
매엽식 세정은 반도체 웨이퍼의 회로 선폭이 점점 미세해지면서 웨이퍼 표면에 남아있는 파티클(오염물질)을 제거하기 위해 반도체 웨이퍼를 한장씩 개별적으로 세정하는 방식이다. 세메스는 이 장비를 2006년 7월 첫 양산한 이후 지금까지 7조 원 넘는 누적 매출을 올렸고, 장비에 들어가는 주요 기술에 대해선 국가핵심기술 판정도 받았다.
다. 이들 설비는 다양한 소재와 신기술을 적용해 세정 성능을 기존 대비 90% 이상 크게 향상시켰다. 또한 웨이퍼의 오염 상태에 따라 세정 방식을 조절할 수 있도록 제작됐다.
김경현 세메스 클린팀장은 “앞으로 다양한 공정기술이 융복합된 신제품 개발 및 친환경 설비 경쟁력 확보를 통해 명실상부한 반도체 세정장비 선도업체로 도약하겠다”고 말했다.
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