반도체용 특수가스 개발 전문사인 SK(034730)머티리얼즈가 고순도 불화수소 자체 개발에 나선다. 최근 일본의 불화수소(에칭가스) 한국수출 규제 움직임에 대응한 조치로 소재 국산화가 이뤄질 경우 SK하이닉스의 반도체 제품 밸류체인도 한층 강화될 것으로 전망된다.
26일 반도체 업계에 따르면 SK머티리얼즈는 올해 말까지 시제품 생산을 목표로 고순도 불화수소 개발에 나선다. SK머티리얼즈는 글로벌 생산량 1위 제품인 삼불화질소(NF3) 기술력을 바탕으로 제품군을 불화수소까지 확대한다는 방침이다. SK머티리얼즈의 한 관계자는 “삼불화질소의 원료가 불화수소인데다 해당 제품 관련 노하우가 충분히 축적돼 있어 고순도 제품 생산이 가능할 것으로 보인다”고 밝혔다.
다만 반도체 세척과 디스플레이 및 태양전지 제조 등에 사용되는 특수 가스인 삼불화질소와 달리 반도체 습식식각 과정에 사용되는 고순도 불화수소는 제조 시 훨씬 더 높은 기술력을 요구한다. 실제 디스플레이에는 마이크로미터(1㎛=0.001㎜) 수준의 기술력이 필요한 반면 반도체에는 나노미터(1㎚=0.000001㎜) 수준의 기술이 필요한 것으로 전해졌다. 반도체 제품 수율에 미칠 영향까지 감안하면 SK머티리얼즈의 고순도 불화수소 대량 생산까지는 상당 시일이 걸릴 것이라는 전망도 나온다.
/양철민기자 chopin@sedaily.com
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