SKC '반도체용 CMP 패드' 천안공장 상업가동 개시

SKC의 반도체 소재·부품 전문 자회사 SKC솔믹스가 로봇을 활용해 CMP패드를 양산하고 있다./사진제공=SKC

SKC의 반도체 소재·부품 전문 자회사 SKC솔믹스가 반도체 평탄화 공정용 핵심부품 CMP패드 천안공장 상업 가동을 개시했다.

SKC솔믹스는 최근 충남 천안 CMP패드 2공장 상업가동을 시작했다고 3일 밝혔다. 지난해 470억원을 투자해 건설한 해당 사업장에서는 연간 12만장의 CMP패드를 생산할 수 있다.

폴리우레탄 소재로 제조하는 CMP패드는 노광·식각·증착 공정을 거친 반도체 웨이퍼 표면을 기계적, 화학적 작용으로 연마하는 고부가 제품이다.



반도체 집적도를 높이는 데 필요한 핵심 소재로, 최근 반도체 미세화와 공정 수 증가에 따라 사용량도 늘고 있다. 업계에 따르면 CMP패드 글로벌 시장 규모는 2023년 1조5,800억원 수준에 달할 전망이다.

CMP패드 시장은 기술·특허 장벽이 높아 신규 업체 진입이 쉽지 않다. 현재 CMP패드 시장은 듀폰 등 미국 기업들이 점유율 90% 이상을 차지하고 있다. SKC 반도체소재사업은 2015년 사업 진출 이후 독자적인 연구개발을 통해 국내외 특허 200여건을 출원하는 등 사업 경쟁력을 확보해왔다.

CMP패드 천안공장 상업 가동으로 기존 안성 공장을 포함해 연산 18만장의 생산능력을 확보한 SKC솔믹스는 CMP패드 국산화율을 높여간다는 계획이다.

SKC솔믹스 관계자는 "천안공장은 수입에 의존해온 CMP패드를 생산하며 반도체 소재 국산화를 이끌어가는 거점이 될 것"이라고 밝혔다.