SK하이닉스가 전력 소비량을 40% 줄이는 새로운 저전력 펌프를 개발해 신규 반도체 생산공장(팹)에 적용한다.
25일 SK하이닉스 뉴스룸에 따르면 SK하이닉스는 새로 짓고 있는 M15X 팹과 용인 클러스터에 신규 저전력 펌프를 전량 도입할 예정이다. 펌프는 반도체 공정에서 고(高)진공 환경을 만들어 불순물을 제거하는 장비다. 반도체의 품질과 수율을 결정하는 핵심적인 역할을 한다. 팹 전체 소비 전력의 약 15%를 차지할 정도로 펌프 구동에는 적지 않은 전력이 요구된다.
SK하이닉스는 2022년 연구·제조·설비·환경·구매 등 각 분야 기술 인력으로 구성된 탄소관리위원회를 출범하고 12개의 세부 분과를 만들어 2050년 넷제로 달성을 위한 온실가스 배출 저감 활동을 추진해왔다. 이 중 저전력 펌프 도입 분과는 모터·소재·구조 등의 변경과 신규 아키텍처 도입을 통해 이번 신규 저전력 펌프 개발에 성공했다. SK하이닉스는 신규 저전력 펌프 도입을 위해 1분기부터 평가를 시작한 데 이어 3분기부터 신규 투자를 통해 기존에 운영 중인 팹에 도입하고 있으며 추후 신규 저전력 펌프 도입을 더욱 확대할 계획이다.
회사는 저전력 펌프 도입 외에도 반도체 식각 공정에 필요한 펌프 용량도 기존 3만 ℓ에서 2만 ℓ로 줄인다. 펌프 용량을 줄여도 반도체 품질과 수율에 큰 차이가 없다는 평가 결과를 도출한 데 따른 것이다.
현재 건설하고 있는 신규 팹의 경우 기존 운영 중인 M14 팹의 메인 프로세스 공정 기준으로 전력 소비량을 추산하면 전력 소비량을 39.7%가량 저감할 수 있다는 게 회사 측 설명이다. SK하이닉스 관계자는 “전력 소비 감소는 결국 전력 생산을 위한 탄소 배출 저감으로 이어지기 때문에 스코프2(간접 배출) 배출량 감축에도 크게 기여할 것”이라며 “탄소 배출 저감과 더불어 투자비와 수리비·운영비 등을 절약할 수 있을 것”이라고 말했다.
기존에 운영 중인 펌프의 회전속도(RPM)를 낮춰 소비 전력을 저감하기 위한 노력도 병행하고 있다. 이 관계자는 “공정 평가가 마무리되고 M15와 M16 식각 프로세스 공정 전체에 펌프의 회전속도 감속이 적용될 경우 평균 전력 사용은 16.7%가량 감소할 것으로 예상된다”며 “이는 전력 사용을 위한 비용 절감뿐 아니라 탄소 배출 저감에도 기여하게 될 것”이라고 말했다.
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